HOTF离子源辅助蒸镀设备

具备优异量产性的真空蒸镀设备，能够以低成本、高稳定性生产出品质卓越的红外截止滤光片、DBR及塑料镜片用防反射膜。

• 排气系统搭载涡轮分子泵，实现低颗粒排放。
• 离子源采用适用于高速成膜的OIS-26H离子源。折射率分布提升约30%。
• 膜厚分布：