适用于树脂光学镜片的多种薄膜的光学薄膜形成设备
特征- 可实现节省空间的安装
- 不仅支持自动翻转式穹顶，也可对应一体式穹顶
- 通过选配 RF 离子源，可实现离子辅助蒸镀方式的成膜，从而能够制备高品质的光学薄膜
Products
SDARP离子源辅助蒸镀设备
应用领域
规格
| 规格型号 | SDARP-1800 |
|---|---|
| 真空室 | φ 1800mm × H1770mm |
| 工件架 | W510×L690,9分割 |
| 蒸发源 | 电子枪2套 |
| 离子源 | RF 离子源 |
| 水晶式膜厚计 | 6点式水晶传感器 |
| 光学膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A 型光学膜厚监控仪 波长范围: 350~1100nm 反射式/透射式可选 |