光学薄膜滤光片用溅射装置。 通过搭载真空自动处理与翻转机构，实现高质量量产。 适用于汽车镜片凹面/凸面的防反射膜与防污膜涂层，以及光学元件的防反射膜、高反射膜和硬膜涂层。
特征- 双腔室：单道工序实现产品双面AR+AS镀膜
- 单腔室：单道工序实现产品双面AR镀膜
- 最多可搭载8个靶位
- 双旋转圆筒靶实现稳定放电
- 高装载容量/短时工艺，最适量产需求
Products
DSC光学薄膜用溅射设备
应用领域
规格
| 规格型号 | DSC-1650 |
|---|---|
| 真空腔体 | φ1650mm×H1500mm |
| 基板夹具 | 16片 |
| 旋转滚筒系统 | φ1545mmDOME式、10rpm～100rpm（可变） |
| 反应源 | ICP（电感耦合等离子体） |
| 溅射源 | 双旋转阴极 |
| 排气系统 | 粗抽泵，分子泵 |