高性能且生产效率卓越的负载锁定式金属模式溅射装置。
特征- 阴极与其他组件互换可能
- 高反应性等离子体源实现低吸收膜
- 通过优化成膜系统与输送系统实现低颗粒物
Products
NSC光学薄膜用溅射设备
应用领域
规格
| 规格型号 | NSC-15 | NSC-2350 | NSC-2500 |
|---|---|---|---|
| 真空腔体 | LL室：W500mm×D800mm×H2890mm PR室：φ1650mm×H1200mm | LL室：W700mm×D1860mm×H1760mm UL室：W700mm×D1860mm×H1760mm 搬送室：W660mm×D1860mm×H1760mm PR室：φ2350mm×H1950mm | LL室：φ2950×H2250mm PR室：φ2500mm×H2250mm |
| 基板夹具 | 13片～22片可选 | 15片～22片可选 | 12枚 |
| 旋转滚筒系统 | φ1500mm DOME式、10rpm～100rpm(可变) | φ2245mm DOME式、10rpm～50rpm(可变) | φ2250mm、10rpm～50rpm(可变) |
| 反应源 | ICP(电感耦合等离子体) | ||
| 溅射源 | 双旋转阴极 | ||