可实现低成本量产高性能 LED （ ITO/AlN ）薄膜的反应性等离子体镀膜装置
特征- 通过反应性等离子源同时实现成膜材料的蒸发及活性化
- 通过能量镀制高品质的结晶膜
- 与常规蒸镀相较，实现低温、低成本量产
Products
RPD反应等离子体蒸镀设备
应用领域
规格
| 规格型号 | RPD-1000 | RPD-1300 |
|---|---|---|
| 真空室 | φ1000mm×H1165mm | φ1300mm × H1460mm |
| 工件架 | φ870mm | φ1180mm |
| 蒸发源 | 反应性等离子源 | |
| 水晶式膜厚计 | 6点式水晶传感器 | |