用于稳定生产无位移光学滤光片（如边缘滤光片、带通滤光片、增透镀膜等）的离子束辅助蒸发（IAD）式高性能光学薄膜形成装置。
特征- 腔室尺寸：φ600mm - φ1800mm
- 采用60点/80点式高精度光学膜厚计进行光学膜厚监控
- RF离子源实现大面积均匀分布与高速成膜，支持高速成膜
- 搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
- 利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
- 工件架可选择钟罩式或行星式
- 高真空泵可以从下类型中选择：扩散泵、涡轮分子泵或低温泵
Products
OTFC离子源辅助蒸镀设备
应用领域
规格
| OTFC-900 | OTFC-1100 | OTFC-1300 | OTFC-1550 | OTFC-1800 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 真空室 | φ900mm×H1300mm | φ1100mm×H1520mm | φ1300mm×H1610mm | φ1550mm×H1800mm | φ1800mm×H1920mm |
| 工件架 | φ790mm | φ950mm | φ1130mm | φ1400mm | φ1600mm |
| 蒸发源 | 电子枪2套 | ||||
| 离子源 | RF 离子源 | ||||
| 光学膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A 型光学膜厚监控仪<br>波长范围：350~1100nm<br>反射式/透射式可选 | ||||
| 水晶式膜厚计 | 6点式水晶传感器 | ||||
| 排气系统 | 粗抽泵 + 扩散泵（+冷却器）<br>粗抽泵 + 涡轮分子泵（+冷却器）<br>粗抽泵 + 低温泵（+低温阱） | ||||